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晶圓傳輸機

AL120-LMB12-F / LP3

12吋晶圓傳輸顯微觀測系統

產品特色 技術規格

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簡易操作，工作更順暢

  • 從晶舟盒取出晶圓
  • 晶圓正面目視鏡檢查
  • 晶圓背面目視鏡檢查
  • 顯微檢查

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12 吋晶圓傳輸顯微觀察機

適用 OPEN cassette 手動開蓋

1.  晶圓正背面目視檢查
2.  晶面背面吸附點 30 度位移目視檢查
3.  NOTCH 4 方向定位
4.  啟動前 recipe 掃描確認晶圓無斜插及疊片

12 吋晶圓 FOUP 傳輸顯微觀察機

適用 FOUP 晶舟盒 可自動開蓋

全機外罩提高潔淨度，降低搬運風險

1.  晶圓正背面目視檢查
2.  晶面背面吸附點 30 度位移目視檢查
3.  NOTCH  4 方向定位
4.  啟動前 recipe 掃描確認晶圓無斜插及疊片

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