3D 雷射共軛焦顯微鏡
LEXT OLS5100
OLS5100 雷射掃描顯微鏡使用 405nm 雷射二極體光源和高靈敏度光電倍增管獲得共焦圖像並使光學放大倍率高達 17280 倍,在次微米級精確測量輪廓和表面粗糙度的任務是快速而有效率的,簡化了工作流程並提供了您可以信賴的高品質數據
OLS5100 雷射掃描顯微鏡使用 405nm 雷射二極體光源和高靈敏度光電倍增管獲得共焦圖像並使光學放大倍率高達 17280 倍,在次微米級精確測量輪廓和表面粗糙度的任務是快速而有效率的,簡化了工作流程並提供了您可以信賴的高品質數據
OLS5100 雷射共軛焦顯微鏡專為故障分析和材料工程研究而設計,將卓越的測量精度和光學性能與智慧化工具相結合,使顯微鏡更易於使用。有效率且精確的測量次微米級的形狀和表面粗糙度。
觀察奈米範圍的層階,並可量測次微米級別的高度差。
可量測從線到面的表面粗糙度。
無須先處理樣品,只需將樣品放在載物台上即可量測。
405nm 紫光雷射和專用高數值孔徑物鏡可以拍攝到傳統光學 顯微鏡、白光干涉儀或紅光雷射顯微鏡無法發現的精細紋理和缺陷。
EVIDENT 的 MEMS 掃描器能夠實現具有較低掃描軌跡失真和極小光學像差的精確 X-Y 掃描,某些雷射顯微鏡無法避免視野周邊區域量測值的波動,但 OLS5100 顯微鏡無論是量測視野中心還是邊緣,均可獲得一致的結果。
雙共焦系統由採用不同孔徑的兩個共軛焦光學通道組成,根據共焦鏡頭類型和數據採集模式選擇最佳通道,實現可靠數據的採集。
量測工具的性能通常用準確性表示量測值與其真實值的接近程度,用重複性表示重複量測值的變化程度,EVIDENT 基於可追溯系統的顯微鏡保證準確性和重複性,讓您對量測結果充滿信心。
OLS5100 顯微鏡的電動載台中包含一個長度量測模組,EVIDENT 以此確保拼接圖像數據的準確性,儘管以前的雷射顯微鏡也可跟圖案匹配拼接數據,但 OLS5100 顯微鏡能夠將長度量測模塊的位置資訊添加到圖案匹配中,可保證的精度獲得高可靠性的拼接數據。
在將量測結果紀錄做為證據使用時,管理設備的狀態就非常重要,OLS5100 顯微鏡提供校準功能,可在每次量測之前使用具有校準證書的校準樣品(選配)對設備狀態進行校準。點擊一個按鈕即可使用校準樣品完成校準工作,且校準結果將做為紀錄添加到報告中。
銅箔表面粗化處理後,需用粗糙度數值來做品質管控。OLYMPUS OLS5000 3D雷射掃描顯微鏡4K高解析、雜訊低、操作簡單、穩定性佳的特性,是業界非接觸粗糙度量測的首選。
Lead Frame的表面狀況和封裝效果息息相關,可利用OLYMPUS OLS5000 3D雷射掃描顯微鏡對表面做非接觸的分析,包括線粗糙度、面粗糙度、表面積比例等。OLYMPUS OLS5000 3D雷射掃描顯微鏡解析高、雜訊低、穩定性佳、操作簡單,是業界非接觸表面量測的首選。
銅箔基板(CCL)為製造印刷電路板之關鍵性基礎材料。是利用絕緣紙、玻璃纖維布或其它纖維材料經樹脂含浸後所得之黏合片(Prepreg,亦稱膠片)與銅箔疊合,於高溫高壓下成形之積層板。利用OLYMPUS OLS5000 3D雷射掃描顯微鏡4K高解析的特性,讓使用者量測及輸出報告更加便利。
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