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模組化光學組件

BXC series

最符合於系統整合的高解析微型顯微組件

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輕巧又解析度高的光學組件

承襲著 EVIDENT 的優異光學品質，BXC 系列提供高品質、高解析的顯微鏡組件，並有著尺寸小、重量輕巧的特性，BXC 提供現成的光學電動組件已準備好裝進您的科學儀器和設備中。

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高階性能的物鏡

高解析和長工作距離的結合

MXPLFLN 系列相對比 MPLFLN 系列的物鏡，在相同倍率下能維持高水準的解析力並提升其工作距離。

 

更完整的光學透鏡選擇

提供五種光學透鏡選擇以滿足各種應用及需求。

系統化的設計和自動化的進階選項

可自訂方向的暗視野觀察法

  • 暗視野用於觀察樣品的散射或折射，例如半導體晶圓上的刮痕缺陷
  • MIX 插片無需大型專用光學元件即可實現暗視野觀察法，並透過 16 個獨立可控 LED 增強傳統暗視野，能夠控制照射在樣本上的光線方向
  • 透過使用 MIX 插片的定向暗視野技術可以搭配明視野、簡易偏光或螢光等方式觀察

多種類的鼻輪搭配

  • 隨著自動化需求的增加，電動鼻輪需求也顯著的提升，U-D5BDREMC-VA 無塵室專用電動鼻輪可利用真空來去除灰塵和其他顆粒
  • 手動、編碼、固定中心型鼻輪及用於單一物鏡的轉接座都可以與 BXC 系統搭配

雷射自動對焦模組

  • BXC-FSU 是雷射自動對焦模組，可達到多方位的自動焦點，此感測器非常適合裸晶圓等低對比度樣品
  • 運用獨特的演算法，不論物鏡的倍率和周圍光引起的雜訊狀態，都能精準的對焦

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