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晶圓傳輸機

AL120-LM6 / 8

AL120 晶圓檢測機穩定的傳輸性能允許快速檢測提升產能

與 MX63 顯微鏡結合打造完整且可靠的晶圓檢測解決方案

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多功能性及追求卓越性能的晶圓檢測機

AL120 能單機多組尺寸及厚度晶圓的半導體後處理檢測，能穩定安全傳輸以進行巨觀和傳送到顯微鏡的微觀檢測。

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多功能性

容納多種晶片尺寸

AL120 有一個重要特色，在單一機種上可以供不同尺寸的晶圓使用

  • AL120-L8：200mm 專用機種型
  • AL120-L86：200mm、150mm 的晶圓使用
  • AL120-L6：150mm、120mm 及 100mm 的晶圓使用

所有的尺寸晶元都能做晶面及晶背的巨觀觀察

精準且靈活性

加強型巨觀觀察

  • 360 度自動旋轉的巨觀模式，可讓觀察者輕易的判斷晶面晶背的缺陷微粒等，還可利用搖捍控制晶圓的傾斜角，輕鬆找到最佳觀察角度

 

簡易操作

  • 為了滿足不同檢測例程的需求，AL120 採用十種可程式系統配置的配方驅動，包括特定的盒子類型、晶圓規格和傳輸速度，快速按鈕選擇允許操作員立即裝載不同的產品
  • 晶圓處理機參數和配方設定顯示在 LCD 顯示器上，操作員可在檢查前後確認例程和結果
  • AL120 提供非接觸式光學定心及凹口與平面偵測和對準，減少晶圓和設備之間的接觸，提高晶圓清潔度

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相關應用

12/8 吋晶片（環/框）晶圓檢查機包含晶圓定位 12 /8 Inch Wafer(Ring/Frame)Inspection System with Wafer Mapping Structure

為避免人員直接接觸晶圓切割環， 利用自動晶圓盒裝載機系統搭配電動載物台及OLYMPUS UIS2顯微檢查系統，可自動將切割環晶片從開放式晶圓盒傳送到自動檢查載台，再執行檢查模式和二進制代碼進行編程/索引，並可在晶圓圖中執行缺陷識別/標記及自動晶圓視覺檢查。

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