WLS3100 / WLS3200

客製化 CIM 遠端監測，雲端資料上傳

• 客製化 CIM 解決方案能夠實現生產數據的即時收集、分析和傳輸，這包括製程參數、設備狀態和生產效率等信息的全面管理
• 透過 SECS / GEM 標準，我們確保了系統的穩定性和可擴展性，使製造商能夠更靈活地適應變化
• 這項先進的解決方案不僅提高了製程效率，還為企業提供了更便利的資料管理工具

自動光學對焦與遠端拍照檢查

• 具有先進的對焦技術，可實現自動對焦對位，並在確定準確對位後，自動拍照存檔，這項技術不僅提供了高度的精確性，還能實現遠端檢查功能
• 使用者可根據需要設定拍照點位，靈活地進行遠程監控和檢測操作，這不僅節省了人力成本，還確保了檢測的一致性和可追溯性，提高了生產效率和產品品質

Wafer Mapping 圖複檢

Wafer Mapping 圖依照晶圓、Die 尺寸，以及前一站 Die 的 Defect、BinCode 資訊，建立了一個詳細的映射圖，使得我們能夠實現對晶圓上每個 Die 的即時位置、前一站狀況回授觀測。

Macro 巨觀檢查

Macro 巨觀檢測機可實現更便利的晶圓及晶背 360 度全方位檢測，其特殊的設計允許對晶圓表面和晶背進行全方位的觀察，提供更全面更快速的檢測，搭配不同亮度與安裝角度，可以讓人員快速地找到較大的缺陷，如刮傷、異色、髒污檢查。